電子廠無塵車間為什么還要恒溫恒濕空調(diào)
“隨著人們生活質(zhì)量的提高，對其生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來越嚴(yán)格。電子廠等行業(yè)的無塵車間建設(shè)規(guī)劃主要靠對靜電的控制：高濕度實際上 減少粉塵車間和潔凈室表面的靜電荷積累。較低的濕度更適合電荷積累，成為潛在的靜電放電破壞源。

 當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始 迅速消散，但當(dāng)相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣子或未接地表面長期持續(xù)存在。

 相對濕度在35%和40%之間可以視為 令人滿意 作為一種折衷，半導(dǎo)體無塵車間和潔凈室一般使用額外的控制裝置來限制靜電荷的積累。 所有反應(yīng)，包括腐蝕過程，都會隨著相對濕度的增加而增加。 所有接觸無塵車間和潔凈室周圍的空氣表面迅速被至少一層單層水覆蓋。 當(dāng)這些表面由可與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時，高濕度會加速反應(yīng)。 幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化物，防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)； 但在另一種情況下，例如氧化銅，它沒有保護(hù)能力。 因此，在高濕度環(huán)境中，銅表面更容易受到腐蝕。  

 總結(jié) 電子行業(yè)無塵車間的溫濕度控制主要是根據(jù)生產(chǎn)過程的要求：（下面我們舉例說明 )

 例1：

 在精密加工和測量應(yīng)用中，為了防止熱膨脹引起的誤差，工件必須保持在一定的溫度。 工件溫度的允許波動范圍應(yīng)根據(jù)加工精度確定。 例如，在恒溫室中長度為500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺，其線間允許公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化引起的變形誤差，另外1um為加工和 測量誤差0.1um相當(dāng)于尺溫的變化=0.20C[a為尺的線膨脹系數(shù)，取10/um/(m?K)；  l為尺長，m]，因此工件的溫度變化必須在范圍內(nèi)。  

 但由于工件測量儀器具有一定的熱慣性，空氣溫度的波動在傳遞到工件后會衰減。 在設(shè)計恒溫系統(tǒng)時，一般都是以恒定的環(huán)境空氣溫度為基礎(chǔ)，因此相應(yīng)的環(huán)境溫度精度工件所允許的溫度精度要低于工件所允許的溫度精度。 因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動控制時，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自動控制系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

 例2：

是電子行業(yè)制造車間最重要的產(chǎn)生靜電的地方。 通常靜電會使產(chǎn)品短路甚至導(dǎo)致員工昏倒。 因此，電子行業(yè)無塵車間的相對濕度不應(yīng)低于30%，這樣可以減少靜電的產(chǎn)生。 一般建議無塵車間防靜電區(qū)的相對濕度不低于50%。 在過于干燥的空氣中容易積灰。 電子廠無塵車間如無特殊要求，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55-60%RH。 在這種環(huán)境下，人會感到舒適，靜電也消失了。  

 例3：

 SMT車間對溫濕度有明確的要求：一是主要是為了讓錫膏在更好的環(huán)境下工作 . 溫度會影響錫膏的活性，對里面加入的助焊劑相關(guān)溶劑的活性也會有一定的影響。 高溫會增加其活性，最終影響絲印和回流的效果。 容易出現(xiàn)虛焊、焊點無光澤等現(xiàn)象。 濕度會導(dǎo)致焊膏吸收空氣中的水分。 如果吸收了過多的水分，則會在回流、飛濺、連續(xù)焊接等過程中造成空氣和空氣。 因此，SMT恒溫恒濕車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)：溫度：24±2℃，濕度：50±10%。  

 例4：

 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù) 差異化要求越來越小。 一塊直徑為100um的硅片，溫度每升高1度就會產(chǎn)生0.24um的線膨脹。 因此，它必須具有±0.1度的恒定溫度。 同時，一般要求濕度值低一些，因為一個人出汗后，產(chǎn)品會受到污染，特別是對于怕鈉的半導(dǎo)體車間，這樣的車間不要超過25攝氏度。 濕度過高會導(dǎo)致更多問題。 當(dāng)相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會出現(xiàn)結(jié)露現(xiàn)象。 如果發(fā)生在精密設(shè)備或電路中，會引起各種事故。 相對濕度50%時容易生銹。  

 所以無塵車間的溫濕度控制是由其生產(chǎn)工藝決定的，但其精度還取決于房間的大小，如測量室、光柵分劃室、精密儀器制造 和裝配車間等。前兩個是小房間，對空調(diào)精度要求高（這里主要指溫度和濕度）； 后兩者是較大的生產(chǎn)車間，對溫濕度精度要求較低。 因此，房間的大小也將決定恒溫恒濕車間的精度。  
 

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